精密工学会九州支部「第14回産学官技術交流セミナー【半導体プロセス技術の最前線とその展望】」ご案内（4/21）

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●●● OIRI メール便　　　　　　　大分県産業科学技術センター
( https://antique.oita-ri.jp/ )
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■精密工学会九州支部「第14回産学官技術交流セミナー
【半導体プロセス技術の最前線とその展望】」ご案内
詳細　http://kyushu.jspe.or.jp/event/2017fit/1_2017seminar_annai.pdf

●概要：
精密工学会九州支部「第14回産学官技術交流セミナー」を開催します。
本年度も趣向をこらし、皆様にとって有意義な内容で開催したいと考えていま
すので、多数のご参加をお願いいたします。

●開催日：
平成29年4月21日（金）

●開催会場：
九州工業大学サテライト（福岡市天神イムズ11階）
（福岡市天神1-7-11）

●内容：
【セミナー　11：50～17：00】
・フェムト秒レーザーによる難加工性半導体加工の現状とその展望
– 低照度ビームによるダメージレス表面加工の提案 –
九州大学大学院 林 照剛 氏
・半導体プロセスCMP技術の基礎と応用
株式会社ISTL 礒部 晶 氏
・ミニマルファブ構想と開発状況
国立研究開発法人 産業技術総合研究所 九州センター 猿渡 新水 氏
・ミニマルファブにおける微細加工ロードマップ
株式会社TCK 小坂 光二 氏
・ミニマルファブによるデバイス応用事例
株式会社ピーエムティー 三宅 賢治 氏
【技術交流会　17：30～19：30】

●開催案内
開催要項（PDF版）
http://kyushu.jspe.or.jp/event/2017fit/1_2017seminar_annai.pdf
申込書（Word版）
http://kyushu.jspe.or.jp/event/2017fit/2_2017seminar_moshikomi.doc

●お問合せ先：
公益社団法人精密工学会九州支部 事務局
熊本大学工学部機械システム工学科内
TEL&FAX：096-342-3762
E-mail：jspe9@mech.kumamoto-u.ac.jp
九州支部HP：http://kyushu.jspe.or.jp/

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