ものづくり現場の技術支援機関

M232:卓上型走査電子顕微鏡

●機器名
卓上型走査電子顕微鏡
この機器は競輪(公益財団法人JKA)の補助を受けて整備したものです
JKAlogo
●概 要 各種材料表面の微小部観察や元素分析を行う機器です。簡単な前処理、低真空環境での観察・分析、カメラナビゲーションによる簡単な位置決め操作などが特徴です。
●型 式
・電子顕微鏡:TM4000Plus (㈱日立ハイテクノロジーズ製)
・元素分析装置:Quantax75 (ブルカー製)
●仕 様 ・倍率:10~100,000倍(写真倍率)
・加速電圧:5, 10, 15 kV
・画像信号:反射電子、二次電子、合成
・真空モード:導電体、標準、帯電軽減 ※導電体モードでは反射電子のみ検出可能
・最大試料サイズ:70mm(径) 30mm(高さ) ※標準の試料台を用いた場合
・元素分析手法:点分析、線分析、マッピング
・分析可能簡易:B(ホウ素)~U(ウラン)
●活用事例 ・金属製品の破面や腐食部分の観察・元素分析
・絶縁物(セラミックス、樹脂、食品など)の観察・元素分析  他
●担 当 金属担当

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