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●機器名
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X線光電子分光分析装置（XPS/ESCA）
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| ●概 要 |
固体試料の極表面部の元素分析や状態分析を行う装置です。
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| ●型 式 |
サーモフィッシャーサイエンティフィック製 K-Alpha
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| ●仕 様 |
ビーム径：30μm～400μm
試料台サイズ：60×60 mm Arイオン銃によるスパッタリング |
| ●活用事例 | 接着トラブルなどの不良解析 |
| ●担 当 | 工業化学担当 |
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